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郑飞

作品数：3 被引量：16H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信社会学经济管理更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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