您的位置： 专家智库 > 作者详情>闫春光

闫春光

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

共 1 条 记 录，以下是 1-1
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>