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曾文

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：上海市自然科学基金上海市科委纳米专项基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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