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田新
作品数:
3
被引量:5
H指数:2
供职机构:
江苏协鑫特种材料科技有限公司
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相关领域:
电子电信
化学工程
环境科学与工程
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合作作者
张春伟
江苏协鑫特种材料科技有限公司
于伟华
江苏协鑫特种材料科技有限公司
王彬
江苏中能硅业科技发展有限公司
孙江桥
江苏鑫华半导体材料科技有限公司
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供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
共
3
条 记 录,以下是 1-3
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江苏协鑫特种材料科技有限公司
研究主题:碳化硅涂层 石墨 反应气体 晶圆 底盘
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
江苏中能硅业科技发展有限公司
研究主题:多晶硅 硅 三氯氢硅 硅烷 硅粉
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
江苏鑫华半导体材料科技有限公司
研究主题:硅 多晶硅 三氯氢硅 电子级 还原炉
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
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