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陈海涛
陈海涛
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被引量:6
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河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
潘国峰
河北工业大学
刘金玉
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
牛新环
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
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潘国峰
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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刘金玉
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 蓝宝石衬底 CMP 后表面 电化学
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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