2024年8月31日
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刘永生
作品数:
6
被引量:13
H指数:3
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
于水
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐毓娴
清华大学机械工程学院精密仪器与...
高宏
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
薛实福
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
于水
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 显微镜 自动调焦 柔性铰链
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
徐毓娴
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
高宏
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 光学轮廓仪 力传感器 原子力显微镜 表面粗糙度
发表作品
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所获资助
研究领域
王晓晔
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 MEMS 微装配 微系统
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相关人物
供职机构
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高宏
供职机构:清华大学
研究主题:股票价格 维纳过程 随机游走 CD-RW 数理金融学
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相关人物
供职机构
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