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李佳青

作品数：37 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信兵器科学与技术军事更多>>

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  • 9个上海市
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康晓旭
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王毅博
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：物料输送系统 自动化 晶圆 存储设备 传动皮带
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴文俊
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：研磨 晶圆 研磨液 修整 化学机械研磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁超
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：牺牲层 空气隙 MEMS麦克风 振动膜 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚峰英
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：模版 掩模版 集成电路制造工艺 衬底 长程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋宾
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：衬底 金属连线 微桥结构 电容 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左青云
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林宏
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
池积光
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：扩散阻挡层 金属铝 牺牲层 微桥结构 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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