2024年8月28日
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李士军
作品数:
22
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中国科学院
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电子电信
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合作作者
洪克超
中国科学院
徐宝利
中国科学院
赵崇凌
中国科学院
张健
中国科学院
张冬
中国科学院
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洪克超
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张健
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:定向凝固 单晶高温合金 镍基单晶高温合金 高温合金 再结晶
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赵崇凌
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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徐宝利
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张冬
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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钟福强
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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陆涛
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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赵科新
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 平板式 硅 覆膜
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郭玉飞
供职机构:中国科学院
研究主题:进气 PECVD 晶体硅 传输系统 氨气
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王学敏
供职机构:中国科学院
研究主题:进气 PECVD 晶体硅 传输系统 氨气
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