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高慧莹
作品数:
11
被引量:35
H指数:4
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘涛
中国电子科技集团公司第四十五研...
费玖海
中国电子科技集团公司第四十五研...
左宁
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘洋
中国电子科技集团公司第四十五研...
孙振杰
中国电子科技集团公司第四十五研...
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刘涛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
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所获资助
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费玖海
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
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刘洋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:粘片机 钢带传动 欧拉公式 张紧力 卡槽
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左宁
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:自动检测系统 图像对准 测试点 平移 偏距
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艾博
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:数据采集 串行总线 MODBUS_RTU协议 数据采集平台 实时监测
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陈学森
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 齿轮系统 混沌控制 时变啮合刚度 时变刚度
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罗杨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP工艺 PG 蓝宝石 抛光机 晶圆测试
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孙振杰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 CMP 温度控制
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张领强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:压力控制 化学机械抛光
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