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张佩

作品数：39 被引量：44H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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共 30 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨巍
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物气溶胶 气溶胶粒子 非生物 监测预警 监测环境
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王光辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：非生物 监测预警 监测环境 集成接口 激光监测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱永康
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：织针 非生物 光电探测器 监测预警 监测环境
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡舒窈
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波片 衍射光栅 方位角 信号处理系统 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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