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王肇志
作品数:
33
被引量:22
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
国家高技术研究发展计划
中国科学院知识创新工程
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相关领域:
电子电信
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自动化与计算机技术
生物学
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
邢薇
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
唐小萍
中国科学院光电技术研究所
罗正全
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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邢薇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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张正荣
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 双频激光干涉仪 数字鉴相 光刻机 处理电路
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余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
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