您的位置： 专家智库 > >

王辰伟

作品数：118 被引量：165H指数：6
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程理学更多>>

合作作者

领域

  • 88个电子电信
  • 35个金属学及工艺
  • 33个化学工程
  • 32个自动化与计算...
  • 30个理学
  • 24个电气工程
  • 24个一般工业技术
  • 20个文化科学
  • 14个建筑科学
  • 13个经济管理
  • 13个机械工程
  • 13个环境科学与工...
  • 12个交通运输工程
  • 9个石油与天然气...
  • 7个轻工技术与工...
  • 6个天文地球
  • 5个医药卫生
  • 4个冶金工程
  • 4个社会学
  • 4个自然科学总论

主题

  • 80个CMP
  • 74个抛光液
  • 70个化学机械抛光
  • 70个机械抛光
  • 62个去除速率
  • 57个碱性抛光液
  • 55个抛光
  • 53个平坦化
  • 50个阻挡层
  • 49个化学机械平坦...
  • 45个铜布线
  • 42个活性剂
  • 40个铜
  • 39个磨料
  • 38个碱性
  • 37个表面活性
  • 36个粗糙度
  • 34个抛光速率
  • 33个电路
  • 33个螯合剂

机构

  • 96个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个河北大学
  • 1个天津大学
  • 1个天津理工学院
  • 1个燕山大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国建筑材料...
  • 1个河北科技大学
  • 1个天津理工大学
  • 1个新疆师范大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个华润集团有限...
  • 1个中芯国际集成...
  • 1个杭州西湖房地...
  • 1个北京七星华创...
  • 1个天津冶金职业...

资助

  • 72个河北省自然科...
  • 69个国家中长期科...
  • 48个国家科技重大...
  • 38个国家自然科学...
  • 32个河北省教育厅...
  • 29个天津市自然科...
  • 13个国家教育部博...
  • 13个河北省高等学...
  • 10个河北省科技计...
  • 7个博士科研启动...
  • 6个河北省科技厅...
  • 5个河北省教育厅...
  • 5个河北省教育厅...
  • 5个教育部重点实...
  • 5个天津市重大科...
  • 4个天津市科技攻...
  • 3个新疆维吾尔自...
  • 3个河北省应用基...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个河北省高等教...

传媒

  • 74个微纳电子技术
  • 47个半导体技术
  • 26个功能材料
  • 16个河北工业大学...
  • 15个电镀与涂饰
  • 13个微电子学
  • 12个高分子材料科...
  • 11个稀有金属
  • 10个Journa...
  • 9个人工晶体学报
  • 8个表面技术
  • 7个稀有金属材料...
  • 7个硅酸盐学报
  • 7个电子元件与材...
  • 6个天津科技
  • 5个现代化工
  • 5个电子器件
  • 5个化工中间体
  • 4个电镀与精饰
  • 4个化学世界

地区

  • 82个天津市
  • 13个河北省
  • 2个北京市
  • 1个新疆
共 98 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何彦刚
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共10页<12345678910>
聚类工具0