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王云庆
作品数:
15
被引量:22
H指数:3
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
“八五”国家科技攻关计划
国家自然科学基金
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合作作者
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
周兆英
清华大学机械工程学院精密仪器与...
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
白立芬
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐毓娴
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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周兆英
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:微型飞行器 MEMS 微机电系统 微型机械 传感器
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薛实福
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
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白立芬
供职机构:清华大学
研究主题:柔性铰链 动物纤维 图像处理 细度测量 集成电路
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于水
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 显微镜 自动调焦 柔性铰链
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徐毓娴
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
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