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薛忠营

作品数:198 被引量:170H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金上海市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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领域

  • 45个电子电信
  • 38个一般工业技术
  • 27个理学
  • 20个金属学及工艺
  • 20个电气工程
  • 18个自动化与计算...
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  • 2个生物学
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主题

  • 41个半导体
  • 41个衬底
  • 38个退火
  • 37个离子注入
  • 35个绝缘
  • 33个
  • 32个金属
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  • 31个石墨烯
  • 31个键合
  • 31个光刻
  • 31个掺杂
  • 30个半导体材料
  • 29个纳米
  • 29个绝缘体
  • 26个单晶
  • 24个
  • 23个调制
  • 23个离子
  • 20个气相沉积

机构

  • 46个中国科学院
  • 8个中国科学院研...
  • 6个中国科学院上...
  • 5个山东大学
  • 5个中科院上海微...
  • 3个兰州大学
  • 3个浙江大学
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  • 2个复旦大学
  • 2个清华大学
  • 2个上海交通大学
  • 2个上海大学
  • 2个上海工程技术...
  • 1个北京大学
  • 1个华中科技大学
  • 1个吉林大学
  • 1个济南大学
  • 1个长安大学
  • 1个杭州电子科技...
  • 1个上海理工大学

资助

  • 34个国家自然科学...
  • 22个国家重点基础...
  • 17个上海市自然科...
  • 14个国家科技重大...
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  • 11个上海市科学技...
  • 9个国家教育部博...
  • 9个中国科学院知...
  • 6个中科院创新基...
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  • 6个国家重点实验...
  • 6个上海市国际科...
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  • 4个上海市教育委...
  • 3个高等学校骨干...
  • 3个国家科技支撑...
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传媒

  • 26个功能材料与器...
  • 22个物理学报
  • 17个半导体技术
  • 17个Journa...
  • 15个功能材料
  • 13个科学通报
  • 11个材料导报
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  • 7个人工晶体学报
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  • 6个无机材料学报
  • 6个压电与声光
  • 5个稀有金属材料...
  • 5个中国科学(E...
  • 5个半导体光电

地区

  • 42个上海市
  • 5个北京市
  • 5个山东省
  • 2个甘肃省
  • 1个浙江省
55 条 记 录,以下是 1-10
张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈达
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
母志强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜 图形化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑晓虎
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 绝缘衬底 长腔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴家赟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 半导体材料 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭庆磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 锗 键合 图形化 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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