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张卫青

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刘海韵
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅 残余应力 绝缘衬底 热膨胀系数 偏转
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋明霞
供职机构：东南大学
研究主题：衬底 多晶硅 残余应力 偏转 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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