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檀柏梅

作品数：163 被引量：331H指数：11
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺理学化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 134个电子电信
  • 65个金属学及工艺
  • 63个自动化与计算...
  • 52个理学
  • 48个电气工程
  • 46个一般工业技术
  • 37个化学工程
  • 36个文化科学
  • 29个机械工程
  • 27个经济管理
  • 20个建筑科学
  • 20个交通运输工程
  • 18个环境科学与工...
  • 14个医药卫生
  • 13个天文地球
  • 11个动力工程及工...
  • 11个农业科学
  • 10个轻工技术与工...
  • 8个航空宇航科学...
  • 5个冶金工程

主题

  • 80个机械抛光
  • 78个化学机械抛光
  • 70个CMP
  • 64个电路
  • 60个抛光
  • 58个抛光液
  • 51个集成电路
  • 45个活性剂
  • 42个去除速率
  • 42个衬底
  • 40个磨料
  • 40个表面活性
  • 40个表面活性剂
  • 37个离子
  • 36个单晶
  • 34个电池
  • 34个铜
  • 33个铜布线
  • 31个溶胶
  • 30个硅衬底

机构

  • 132个河北工业大学
  • 12个天津大学
  • 4个天津工业大学
  • 4个中国科学院
  • 3个天津理工大学
  • 2个南开大学
  • 2个河北工学院
  • 2个教育部
  • 2个中国电子科技...
  • 2个中国科学院研...
  • 2个天津市光电子...
  • 1个福建工程学院
  • 1个河北师范大学
  • 1个福州大学
  • 1个华北光电技术...
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个河北大学
  • 1个沈阳药科大学
  • 1个太原重型机械...

资助

  • 80个国家自然科学...
  • 56个河北省自然科...
  • 48个天津市自然科...
  • 37个国家科技重大...
  • 36个国家中长期科...
  • 31个国家教育部博...
  • 23个河北省教育厅...
  • 19个河北省高等学...
  • 16个河北省教育厅...
  • 11个河北省科技支...
  • 10个国家高技术研...
  • 9个河北省科学技...
  • 9个河北省科技计...
  • 8个国家重点基础...
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  • 7个天津市应用基...
  • 7个天津市科技支...
  • 6个国家科技型中...
  • 6个天津市科技计...

传媒

  • 71个半导体技术
  • 60个微纳电子技术
  • 37个河北工业大学...
  • 29个Journa...
  • 24个功能材料
  • 19个电子器件
  • 18个人工晶体学报
  • 18个微电子学
  • 18个第十三届全国...
  • 17个稀有金属
  • 15个电子设计工程
  • 15个第十四届全国...
  • 14个固体电子学研...
  • 12个光电子．激光
  • 11个物理学报
  • 9个稀有金属材料...
  • 9个硅酸盐学报
  • 9个电镀与涂饰
  • 9个材料研究学报
  • 9个微细加工技术

地区

  • 126个天津市
  • 10个河北省
  • 2个北京市
  • 1个湖南省
  • 1个上海市
  • 1个福建省
共 141 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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高宝红
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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王如
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 化学机械抛光 SM 磁性能 生物医学材料
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周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建新
供职机构：天津工业大学
研究主题：等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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