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张正荣

作品数：13 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 10个四川省
  • 1个陕西省
  • 1个西藏
共 12 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢薇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓玖根
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：双频激光干涉仪 数字鉴相 CPLD USB2.0 底面对准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王肇志
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王淑蓉
供职机构：西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题：生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔俊仙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：电子束曝光机 激光干涉仪 工件台 误差分析 测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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