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段鑫阳

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供职机构:中国科学院更多>>
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赵崇凌
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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李士军
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张健
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:单晶高温合金 定向凝固 镍基单晶高温合金 高温合金 电火花沉积
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赵科新
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 平板式 硅 覆膜
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洪克超
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张冬
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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徐宝利
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟福强
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔秀伟
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 平板式 硅 光伏 单腔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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