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朱鹏辉

作品数：8 被引量：8H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

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  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方伟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 点光源 测试技术 二维阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢云君
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李永
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：子孔径拼接 剪切干涉仪 波像差 剪切干涉 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张恒
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭福东
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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