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辛将
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21
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
高南
中国科学院微电子研究所
李志超
中国工程物理研究院激光聚变研究...
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
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高南
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
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李志超
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:激光等离子体 惯性约束聚变 探测器 针孔 激光聚变
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潘一鸣
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:成像分辨率 衍射光学元件 普通玻璃 数值孔径 熔融石英
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陈军宁
供职机构:安徽大学
研究主题:反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
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徐超
供职机构:安徽大学
研究主题:图像 小麦白粉病 亚阈值 高光谱遥感影像 钙钛矿
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