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刘金玉

作品数:6 被引量:19H指数:2
供职机构:河北工业大学更多>>
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相关领域:电子电信金属学及工艺更多>>

领域

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主题

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  • 7个机械抛光
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机构

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资助

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地区

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7 条 记 录,以下是 1-7
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
边娜
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 超纯水 材料化学 后表面 机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
项霞
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 蓝宝石衬底 磨料 粒径 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆会来
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 抛光 化学机械抛光 钽 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海涛
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 超纯水 机械抛光 钨钼 螯合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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