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刘金玉
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6
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供职机构:
河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
牛新环
河北工业大学信息工程学院微电子...
项霞
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边娜
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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边娜
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 超纯水 材料化学 后表面 机械抛光
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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项霞
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 蓝宝石衬底 磨料 粒径 去除速率
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穆会来
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 抛光 化学机械抛光 钽 晶片
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陈海涛
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 超纯水 机械抛光 钨钼 螯合剂
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