2025年1月8日
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贾松涛
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12
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H指数:4
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清华大学
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李广
清华大学
张鸣
清华大学
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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李广
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 直线电机 基台 双自由度
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李恒
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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武晨光
供职机构:清华大学
研究主题:WEB 超精密 微动工作台 电磁式 电磁驱动
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