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王凤丹

作品数：6 被引量：15H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 9个一般工业技术
  • 7个机械工程
  • 7个电气工程
  • 7个理学
  • 6个金属学及工艺
  • 5个自动化与计算...
  • 5个环境科学与工...
  • 5个文化科学
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  • 3个化学工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个生物学
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  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个经济管理
  • 1个哲学宗教
  • 1个水利工程
  • 1个轻工技术与工...

主题

  • 10个光刻
  • 7个光刻工艺
  • 6个电感耦合
  • 6个电感耦合等离...
  • 6个电阻率
  • 6个形貌
  • 5个电极
  • 5个电子束蒸发
  • 5个叶片
  • 5个软光刻
  • 5个软模板
  • 4个导电
  • 4个电路
  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个导体
  • 3个导体材料
  • 3个等离子
  • 2个氮化硅薄膜
  • 2个氮化铝

机构

  • 11个上海交通大学
  • 1个复旦大学
  • 1个名古屋大学
  • 1个常州大学
  • 1个教育部
  • 1个交通大学
  • 1个北京金轮坤天...

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个上海市自然科...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个教育部“新世...
  • 2个上海市科学技...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个吉林省自然科...
  • 1个陕西省科技攻...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市卫生系...
  • 1个武器装备预研...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个长江学者和创...

传媒

  • 7个电子工艺技术
  • 6个微纳电子技术
  • 6个真空科学与技...
  • 4个上海交通大学...
  • 4个功能材料
  • 4个实验室研究与...
  • 3个半导体技术
  • 3个材料保护
  • 3个真空
  • 3个传感技术学报
  • 3个航空发动机
  • 3个半导体光电
  • 3个实验技术与管...
  • 2个振动．测试与...
  • 2个中国机械工程
  • 2个红外技术
  • 2个材料导报
  • 2个生物工程学报
  • 2个仪表技术与传...
  • 2个真空与低温

地区

  • 11个上海市
  • 1个江苏省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
付学成
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：电子束蒸发 坩埚 金膜 原子层沉积 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王英
供职机构：上海交通大学
研究主题：金纳米粒子 电子束蒸发 金膜 坩埚 高温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李进喜
供职机构：上海交通大学
研究主题：电子束蒸发 太阳能电池 磁控溅射 钛 功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：电感耦合等离子体 ICP刻蚀 多孔结构 热导率 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张洪波
供职机构：常州大学
研究主题：叶面喷施 铅 蓖麻 根施 磷肥
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马玲
供职机构：上海交通大学
研究主题：形貌 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高均超
供职机构：上海交通大学
研究主题：高温 软光刻 热电阻 PDMS 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：上海交通大学
研究主题：刻蚀 金膜 玻璃结构 亚波长光栅 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段力
供职机构：上海交通大学
研究主题：高温 高温测量 热障涂层 MEMS 叶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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