李楠
- 作品数：7 被引量：5H指数：2
- 供职机构：沈阳理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程交通运输工程更多>>
- 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫及制造方法
- 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫，由上层硬质凸块和下层支撑体组成。所述下层支撑体由下层软质凸块连接软质基层且为一整体而构成，上层硬质凸块支撑在下层软质凸块上，并固定连接。所述上层凸块分布排列成葵花籽粒排列形状，基于生物学...
- 吕玉山王军李楠
- 叶序结构抛光垫表面的抛光液流场分析被引量：4
- 2011年
- 为了解决在化学机械抛光过程中抛光接触区域内抛光液的分布均匀性问题,基于生物学的叶序理论,设计葵花籽粒结构的仿生抛光垫,建立化学机械抛光抛光液流场的运动方程和边界条件,利用流体力学软件(Fluent)对抛光液的流动状态进行仿真,并获得叶序参数对抛光液流动状态的影响规律。结果表明:抛光液在基于葵花籽粒的仿生抛光垫的流动是均匀的,抛光液沿着逆时针和顺时针叶列斜线沟槽流动,有利于流体向四周发散。
- 吕玉山张田王军李楠段敏邢雪岭
- 关键词：化学机械抛光抛光垫抛光液流场
- 轻型货车用扭转缓冲器的仿真研究
- 联轴器在机械传动中起着举足轻重的作用，它是用来联接不同机构中的两根轴（主动轴和从动轴）使之共同旋转以传递扭矩的机械零件。本文选题于实际科研项目，设计一种可在汽车动力传动系中使用的扭转缓冲器。主要起到降速增扭的作用，实现了...
- 李楠
- 关键词：轻型货车有限元分析模型承载能力动力传动系
- 文献传递
- 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫及制造方法
- 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫，由上层硬质凸块和下层支撑体组成。所述下层支撑体由下层软质凸块连接软质基层且为一整体而构成，上层硬质凸块支撑在下层软质凸块上，并固定连接。所述上层凸块分布排列成葵花籽粒排列形状，基于生物学...
- 吕玉山王军李楠
- 文献传递
- 基于葵花籽粒结构仿生抛光垫的设计制造及压力场的研究
- 本文中设计制作了一种新型葵花籽粒结构仿生抛光垫,将葵花籽粒排列分布形式应用到抛光垫设计制作中。研究葵花籽粒结构参数对化学机械抛光效果的影响,正确的参数可以均衡在被加工件上压力场分布,解决加工过程的接触压力场分布不均带来的...
- 李楠
- 关键词：化学机械抛光硅片
- 文献传递
- 基于叶序仿生抛光垫的化学机械抛光的运动分析被引量：2
- 2010年
- 为了改善化学机械抛光的接触状态和被加工工件的表面形态,基于生物学的叶序理论设计了仿生结构的抛光垫。从单颗磨粒切削理论出发,建立了抛光运动方程和材料去除率分布模型。利用所建立的运动方程和材料去除率分布模型进行了晶片表面材料去除率分布的计算分析,得到抛光机的运动参数及抛光垫的叶序参数对材料去除率的影响规律。结果表明:当抛光盘的转速较大、工件转速适中、摆臂摆动频率较小、摆臂中心角较小及叶序参数取值较小时可以获得更好的材料去除分布。
- 吕玉山段敏王军李楠张田邢雪岭
- 关键词：化学机械抛光材料去除率叶序
- 基于葵花籽粒结构的仿生抛光垫设计制造及压力场的研究
- 本文中设计制作了一种新型葵花籽粒结构仿生抛光垫，将葵花籽粒排列分布形式应用到抛光垫设计制作中。研究葵花籽粒结构参数对化学机械抛光效果的影响，正确的参数可以均衡在被加工件上压力场分布，解决加工过程的接触压力场分布不均带来的...
- 李楠
- 关键词：化学机械抛光硅片
- 文献传递
