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钱坤

作品数:44 被引量:14H指数:2
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术环境科学与工程更多>>

文献类型

  • 33篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 4篇科技成果
  • 2篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 15篇光刻
  • 14篇电路
  • 10篇阵列式
  • 10篇母盘
  • 10篇母盘刻录
  • 10篇刻录
  • 10篇集成电路
  • 10篇光刻系统
  • 8篇电路图形
  • 6篇队列
  • 6篇发送
  • 4篇端口
  • 4篇微光
  • 4篇微细
  • 4篇微细加工
  • 4篇微细加工技术
  • 4篇线宽
  • 4篇激光
  • 4篇光存储
  • 4篇光学头

机构

  • 44篇清华大学

作者

  • 44篇钱坤
  • 30篇徐端颐
  • 30篇齐国生
  • 28篇蒋培军
  • 24篇范晓冬
  • 12篇李庆祥
  • 10篇任丰原
  • 7篇佘鹏
  • 6篇范晓东
  • 4篇胡华
  • 3篇沈全洪
  • 3篇李晟
  • 2篇雷志军
  • 2篇麦雪松
  • 2篇庄松林
  • 2篇潘龙法
  • 2篇李赫雄
  • 2篇郑继红
  • 2篇马建设
  • 2篇宋洁

传媒

  • 1篇光电子.激光
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇光学技术
  • 1篇中国激光
  • 1篇2004全国...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2021
  • 3篇2020
  • 1篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2010
  • 7篇2005
  • 15篇2004
  • 3篇2003
  • 7篇2002
44 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
云数据中心租户出口流量限速方法与系统
本发明提供一种云数据中心租户出口流量限速方法与系统,所述方法包括:启动定时器,接收并统计在当前周期内的租户的数据包,基于当前周期内租户的所有数据包得到租户的本地流量速率信息,基于租户的本地流量速率信息生成租户的本地带宽需...
任丰原范英晨钱坤
文献传递
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
文献传递
高密度母盘刻录系统
李玉和李庆祥齐国生赵大鹏訾艳阳蒋培军李晟范晓冬钱坤王亮郭阳宽
高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术。对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究,提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法,完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真,并进行...
关键词:
关键词:光存储母盘刻录
蓝光大数值孔径超分辨率存储光学系统
庄松林徐福侯全兆根郑继红徐端颐齐国生范晓冬沈全洪肖家曦钱坤蒋培军胡恒
蓝光大数值孔径超分辨率存储光是超分辨率技术是在同样数值孔径下,进一步缩小光盘记录符尺寸,提高光盘存储密度,增大光盘存储容量的有效途径之一。另外,蓝光光盘存储(Blue-Ray Disc)也是继DVD之后下一代光存储的基本...
关键词:
关键词:蓝光大数值孔径超分辨
多波长多阶光度式母盘刻录技术及系统
徐端颐齐国生庄松林陈玉鹏马建设潘龙法钱坤蒋培军范晓冬佘鹏雷志军胡华沈全洪张启程宋洁肖家曦耿远迎张建勇李蓉徐福候金兆根郑继红
主要用于刻录光度式多波长多阶母盘,利用记录材料对光的选择吸收和光子型反应的可分阶特性,实现多波长多阶光度式记录,可大幅度提高存储容量和数据传输率。多波长多阶光度式母盘刻录技术和实验系统是多波长多阶只读光盘制造中的关键技术...
关键词:
关键词:多波长母盘刻录
蓝光多阶光存储技术与实验系统
徐端颐齐国生马建设潘龙法雷志军沈全洪胡恒胡华佘鹏汝继刚范晓冬蒋培军张启程钱坤宋洁
蓝光多阶光存储技术及实验系统,采用波长为405nm的蓝色激光器、数值孔径为0.65的物镜,使光盘单面单层存储容量达到35GB。蓝光多阶光存储技术,采用物镜NA=0.65和保护层厚度0.6mm的方案,不仅有利于光盘抗污染能...
关键词:
关键词:蓝光光存储
光探针扫描集成电路用光刻系统中振动刻写方法
一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法,属于集成电路光刻技术领域,其特征在于:在根据电路图形或掩膜图形生成待光刻的图形线条的控制数据后,在光探针沿着主运动X方向作扫描运动时,辅以Y方向的小幅振动型的步进幅值。Y方向...
徐端颐钱坤齐国生蒋培军范晓冬
文献传递
微进给工作台伺服控制技术被引量:7
2004年
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型。采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响。为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术。针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6和±0.3μm。
蒋培军齐国生徐端颐李庆祥范晓东钱坤
关键词:机电一体化精密工作台前馈控制伺服控制
多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法
多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法,属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域,其特征在于:它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性,用多波长刻录激光进行多路并行刻录,并在每一层上多阶存储的方法,它依次包含以下步骤:在...
徐端颐蒋培军齐国生李赫雄钱坤范晓东李庆祥李晟
文献传递
光致变色多波长多阶光存储研究进展
光致变色多波长多阶存储是基于光致变色原理的一种高容量光存储方法,利用多波长并行读写和多阶存储的方法可以明显地提高存储容量和存储速度。对多波长多阶光存储的存储原理、存储系统和光盘结构、写入读出过程以及今后的研究方向进行了论...
宋洁齐国生徐端颐胡华钱坤
关键词:光致变色多波长光存储
文献传递
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