蒋培军
- 作品数：39 被引量：82H指数：5
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术化学工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 光探针扫描集成电路用光刻系统中振动刻写方法
- 一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法，属于集成电路光刻技术领域，其特征在于：在根据电路图形或掩膜图形生成待光刻的图形线条的控制数据后，在光探针沿着主运动X方向作扫描运动时，辅以Y方向的小幅振动型的步进幅值。Y方向...
- 徐端颐钱坤齐国生蒋培军范晓冬
- 文献传递
- 微进给工作台伺服控制技术被引量：7
- 2004年
- 为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型。采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响。为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术。针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6和±0.3μm。
- 蒋培军齐国生徐端颐李庆祥范晓东钱坤
- 关键词：机电一体化精密工作台前馈控制伺服控制
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在...
- 徐端颐蒋培军齐国生李赫雄钱坤范晓东李庆祥李晟
- 文献传递
- 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
- 本发明属于微细加工技术领域,包括由n个短波长微光源组成的线阵光源和对该光源实现小视场和近场技术的微型成像系统,所说的线阵光源由n个相邻微光源排成直线得到的,每个微光源的开关可进行独立控制。本发明提高了系统光刻分辨率,可实...
- 徐端颐齐国生蒋培军李庆祥钱坤范晓冬
- 文献传递
- 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
- 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
- 徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
- 文献传递
- 母盘刻录技术新进展被引量：1
- 2005年
- 介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
- 蒋培军范晓东钱坤徐端颐齐国生
- 关键词：母盘刻录电子束近场超分辨技术
- 阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路方法
- 本发明属于微细工程制造领域，涉及阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路的方法。该方法由m×n个光探针单元构成光学探针阵列，将光学探针阵列中任意两个纵向或横向间隔最大的光探针单元用作精确定位的光探针单元单独在硅片上扫描，制作记...
- 徐端颐齐国生范晓冬李庆祥钱坤蒋培军
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- 灰度记录方式的只读光盘
- 灰度记录方式的只读光盘属于只读光盘存储领域，其特征在于，它是一种灰度分阶只读光盘，它含有依次层叠的：基片、用感光材料经光刻曝光、显影、定影程序后形成的记录层、反射层和保护层。它也可以是一种多波长多阶只读光盘，它还有依次层...
- 徐端颐李赫雄蒋培军齐国生
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- 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
- 本发明属于微细加工技术领域，包括由n个短波长微光源组成的线阵光源和对该光源实现小视场和近场技术的微型成像系统，所说的线阵光源由n个相邻微光源排成直线得到的，每个微光源的开关可进行独立控制。本发明提高了系统光刻分辨率，可实...
- 徐端颐齐国生蒋培军李庆祥钱坤范晓冬
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- 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准装置
- 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
- 徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
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