李会雨
- 作品数:4 被引量:1H指数:1
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:机械工程金属学及工艺更多>>
- 超光滑表面粗糙度检测系统的研究
- 超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光...
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华葛杨翔
- 关键词:相移干涉超光滑表面粗糙度
- 文献传递
- 基于测地学腐蚀的去包裹算法
- 2006年
- 相位图像去包裹运算是三维形貌测量的重要环节,用于获得真实的相位分布。该文提出了基于测地学腐蚀的去包裹算法,首先根据包裹相位图像选取m ask与m arker图像,并在m ask图像的限制下对m arker图像进行测地学腐蚀运算,然后对腐蚀后图像的补集采取相同的腐蚀运算,以消除包裹相位图的阴影、断点等噪声,最后利用五帧去包裹算法对腐蚀预处理后的相位图进行相位恢复。实验表明,该方法有效地消除了相位图像中的断点、空洞和阴影等干扰因素,为实现高精度的表面形貌测量奠定了基础。
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华郑静琳
- 关键词:干涉仪相位恢复
- 相移干涉测量系统的设计与实验研究
- 李会雨
- 关键词:相移干涉粗糙度测量超光滑表面
- 超光滑表面粗糙度检测系统的研究被引量:1
- 2005年
- 超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求。
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华葛杨翔
- 关键词:相移干涉超光滑表面粗糙度