廖小华
- 作品数：10 被引量：11H指数：2
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺电子电信更多>>
- 超光滑表面粗糙度检测系统的研究
- 超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光...
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华葛杨翔
- 关键词：相移干涉超光滑表面粗糙度
- 文献传递
- 基于测地学腐蚀的去包裹算法
- 2006年
- 相位图像去包裹运算是三维形貌测量的重要环节,用于获得真实的相位分布。该文提出了基于测地学腐蚀的去包裹算法,首先根据包裹相位图像选取m ask与m arker图像,并在m ask图像的限制下对m arker图像进行测地学腐蚀运算,然后对腐蚀后图像的补集采取相同的腐蚀运算,以消除包裹相位图的阴影、断点等噪声,最后利用五帧去包裹算法对腐蚀预处理后的相位图进行相位恢复。实验表明,该方法有效地消除了相位图像中的断点、空洞和阴影等干扰因素,为实现高精度的表面形貌测量奠定了基础。
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华郑静琳
- 关键词：干涉仪相位恢复
- 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕...
- 廖小华葛杨翔李玉和李庆祥
- 关键词：划痕轻敲模式外差干涉原子力显微镜
- 文献传递
- 用于SPM技术的多维纳米定位系统
- 2006年
- 扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分。介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨。
- 郑静琳李玉和廖小华李庆祥
- 关键词：直接驱动
- 双频外差干涉微探针扫描测量系统实验研究
- 廖小华
- 关键词：外差干涉双频激光超光滑表面轻敲模式
- 超精表面缺陷检测系统的实验研究
- 电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用...
- 李玉和李庆祥王东生葛杨翔廖小华
- 关键词：柔性铰链压电双晶片激光干涉
- 文献传递
- 超精表面缺陷检测系统的实验研究被引量：8
- 2005年
- 电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高。为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式。系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求。
- 李玉和李庆祥王东生葛杨翔廖小华
- 关键词：微探头柔性铰链压电双晶片激光干涉
- 超光滑表面粗糙度检测系统的研究被引量：1
- 2005年
- 超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求。
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华葛杨翔
- 关键词：相移干涉超光滑表面粗糙度
- 微探针振动特性的理论分析及实验研究
- 力学传感器微探针作为原子力显微镜的重要部件,其固有振动频率影响着系统的主要性能。本文通过能量关系,分析并推导了微探针共振频率的理论公式,采用有限元分析软件ANSYS进行了有限元仿真分析,并采用测量仪器对微探针共振频率进行...
- 刘梅李玉和林浩山廖小华
- 关键词：有限元法谐振频率
- 文献传递
- 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究被引量：2
- 2005年
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求。
- 廖小华葛杨翔李玉和李庆祥
- 关键词：划痕轻敲模式外差干涉原子力显微镜
