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郑伟民
作品数:
2
被引量:11
H指数:2
供职机构:
西安理工大学机械与精密仪器工程学院晶体生长设备研究所
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相关领域:
理学
化学工程
冶金工程
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合作作者
丁积军
西安理工大学机械与精密仪器工程...
赵一谦
西安理工大学机械与精密仪器工程...
田炜
西安理工大学机械与精密仪器工程...
李剑侠
西安理工大学机械与精密仪器工程...
许扬
西安理工大学机械与精密仪器工程...
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逻辑演进
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西安理工大学
作者
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郑伟民
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1篇
董淑梅
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1篇
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1篇
田炜
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1篇
丁积军
传媒
1篇
人工晶体学报
1篇
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年份
1篇
2005
1篇
2004
共
2
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论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进
被引量:7
2004年
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新。
许扬
赵一谦
李剑侠
郑伟民
田炜
丁积军
关键词:
磁场
新型硅芯晶体炉的开发与设计
被引量:4
2005年
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
董淑梅
李言
王建春
郑伟民
关键词:
工艺特点
机械结构
电气控制
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