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郑伟民

作品数:2 被引量:11H指数:2
供职机构:西安理工大学机械与精密仪器工程学院晶体生长设备研究所更多>>
相关领域:理学化学工程冶金工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇冶金工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电气控制
  • 1篇演进
  • 1篇逻辑
  • 1篇逻辑演进
  • 1篇晶体
  • 1篇机械结构
  • 1篇工艺特点
  • 1篇
  • 1篇磁场

机构

  • 2篇西安理工大学

作者

  • 2篇郑伟民
  • 1篇许扬
  • 1篇董淑梅
  • 1篇王建春
  • 1篇李剑侠
  • 1篇李言
  • 1篇田炜
  • 1篇赵一谦
  • 1篇丁积军

传媒

  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进被引量:7
2004年
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新。
许扬赵一谦李剑侠郑伟民田炜丁积军
关键词:磁场
新型硅芯晶体炉的开发与设计被引量:4
2005年
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
董淑梅李言王建春郑伟民
关键词:工艺特点机械结构电气控制
共1页<1>
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