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丁积军
作品数:
2
被引量:10
H指数:2
供职机构:
西安理工大学机械与精密仪器工程学院晶体生长设备研究所
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相关领域:
理学
化学工程
自动化与计算机技术
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合作作者
赵一谦
西安理工大学机械与精密仪器工程...
田炜
西安理工大学机械与精密仪器工程...
李剑侠
西安理工大学机械与精密仪器工程...
郑伟民
西安理工大学机械与精密仪器工程...
许扬
西安理工大学机械与精密仪器工程...
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西安理工大学
作者
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丁积军
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2004
1篇
2001
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论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进
被引量:7
2004年
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新。
许扬
赵一谦
李剑侠
郑伟民
田炜
丁积军
关键词:
磁场
Fuzzy-PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用
被引量:4
2001年
单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点 ,应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy- PID复合控制模型 ,在Windows平台下实现了有效的控制 。
陈琦
王新房
丁积军
关键词:
模糊控制
复合控制
PID控制
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