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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇演进
  • 1篇逻辑
  • 1篇逻辑演进
  • 1篇磁场

机构

  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇许扬
  • 1篇郑伟民
  • 1篇李剑侠
  • 1篇田炜
  • 1篇赵一谦
  • 1篇丁积军

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进被引量:7
2004年
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新。
许扬赵一谦李剑侠郑伟民田炜丁积军
关键词:磁场
共1页<1>
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