李建军
- 作品数：18 被引量：18H指数：3
- 供职机构：沈阳真空技术研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信交通运输工程机械工程更多>>
- 直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化
- 本文对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算。通过磁场的解析表达式，解出电子在磁场中的运动方程，求得并从理论上解释了电子的运动轨迹。由电子的运动轨迹，并运用Monte Carlo方法，求得电子在磁...
- 黄英李建军张以忱
- 关键词：磁控溅射MONTE利用率
- VRD16旋片真空泵气动噪声和结构振动噪声的数值计算及降噪分析
- 由于旋片泵的工作原理及结构特性,振动和噪声是不可避免的。国外厂家很早就注意对其进行减振降噪,其产品的噪声一般比国产泵低10dB/(A/)左右,国内用户近年来对减小振动和噪声的要求强烈,所以很有必要对其振动噪声进行研究和控...
- 李建军
- 关键词：旋片泵多体动力学流体动力润滑气动噪声
- 文献传递
- 凝壳炉离心系统
- 凝壳炉离心系统属于真空冶金设备技术领域，尤其涉及一种凝壳炉离心系统。本实用新型提供一种可大大降低整个设备的振动，提高设备运行可靠性的凝壳炉离心系统。本实用新型包括花盘、离心盘、离心主轴、竖向传动轴、离心固定座、传动轴固定...
- 李建军宋青竹王勃
- 凝壳炉双室U型炉体系统
- 凝壳炉双室U型炉体系统属于真空冶金设备技术领域，尤其涉及一种凝壳炉双室U型炉体系统。本发明提供一种结构安全可靠稳定、可提高浇注高度的凝壳炉双室U型炉体系统。本发明包括上炉体和下炉体，上炉体下端与下炉体上端把接，上炉体上端...
- 孙足来李建军侯景岳
- 凝壳炉双室U型炉体系统
- 凝壳炉双室U型炉体系统属于真空冶金设备技术领域，尤其涉及一种凝壳炉双室U型炉体系统。本实用新型提供一种结构安全可靠稳定、可提高浇注高度的凝壳炉双室U型炉体系统。本实用新型包括上炉体和下炉体，上炉体下端与下炉体上端把接，上...
- 孙足来李建军侯景岳
- 文献传递
- 基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：5
- 2013年
- 借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正确性和建模的合理性,进而对于圆截面直角弯管的传输几率进行了模拟计算,将模拟结果与两种等效算法比较得出:在分子流下计算圆截面直角弯管的传输几率时,Davis的等效方法较传统的等效方法更为合理。
- 张以忱韩晶雪贺佳李建军
- 关键词：MATLAB
- 电子束熔化逐层成型技术的现状及发展趋势被引量：2
- 2016年
- 电子束熔化逐层成型技术(Electron Beam Melting,EBM)是一种新兴的快速成型技术,它可以通过计算机直接"输出"形成实物,近几年受到了社会的广泛关注。本文对EBM成型技术的工作原理、应用技术特点及原材料要求等方面的发展现状进行了系统描述,评价了该技术的局限性及未来发展趋势。
- 刘岩张钧李建军
- 关键词：EBM熔化
- 干式涡旋真空泵的发展与关键问题被引量：5
- 2013年
- 涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。
- 黄英李建军韩晶雪张以忱
- 关键词：真空泵涡旋抽速真空度
- 双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算被引量：1
- 2013年
- 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。
- 黄英李建军常亮张国庆
- 关键词：真空泵涡旋抽速
- 直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化被引量：3
- 2014年
- 对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算。通过磁场的解析表达式,解出电子在磁场中的运动方程,求得并从理论上解释了电子的运动轨迹。由电子的运动轨迹,并运用Monte Carlo方法,求得电子在磁场中的分布,得到电子分布的均值和标准差。本文通过在基片和靶材间加正向电场,改变了电子的运动轨迹和空间分布,优化了矩形平面靶的刻蚀形貌,提高了靶材利用率。
- 黄英李建军张以忱李傲
- 关键词：磁控溅射MONTE利用率
