常亮
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算被引量：1
- 2013年
- 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。
- 黄英李建军常亮张国庆
- 关键词：真空泵涡旋抽速
- 直流磁控溅射中磁场强度和阴极电压对圆平面靶刻蚀形貌的影响被引量：3
- 2013年
- 本文借助Comsol和Matlab软件模拟了直流磁控溅射圆平面靶系统的磁场分布和荷电粒子分布,对不同磁场强度和阴极电压条件下的荷电粒子分布进行了模拟分析,通过比较靶面离子流密度分布曲线发现:当磁场强度增强时,靶面离子流密度分布曲线会变得更加陡窄;当阴极电压变化时,靶面离子流密度分布曲线几乎没有变化。说明靶材的刻蚀形貌会随磁场强度增强而变窄,而阴极电压变化对靶材的刻蚀形貌没有影响。上述结论对直流磁控溅射工艺参数优化具有一定的理论指导意义。
- 黄英韩晶雪李建军常亮张以忱
- 关键词：直流磁控溅射磁场强度阴极电压
