韩晶雪
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：5
- 2013年
- 借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正确性和建模的合理性,进而对于圆截面直角弯管的传输几率进行了模拟计算,将模拟结果与两种等效算法比较得出:在分子流下计算圆截面直角弯管的传输几率时,Davis的等效方法较传统的等效方法更为合理。
- 张以忱韩晶雪贺佳李建军
- 关键词：MATLAB
- 干式涡旋真空泵的发展与关键问题被引量：5
- 2013年
- 涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。
- 黄英李建军韩晶雪张以忱
- 关键词：真空泵涡旋抽速真空度
- 直流磁控溅射中磁场强度和阴极电压对圆平面靶刻蚀形貌的影响被引量：3
- 2013年
- 本文借助Comsol和Matlab软件模拟了直流磁控溅射圆平面靶系统的磁场分布和荷电粒子分布,对不同磁场强度和阴极电压条件下的荷电粒子分布进行了模拟分析,通过比较靶面离子流密度分布曲线发现:当磁场强度增强时,靶面离子流密度分布曲线会变得更加陡窄;当阴极电压变化时,靶面离子流密度分布曲线几乎没有变化。说明靶材的刻蚀形貌会随磁场强度增强而变窄,而阴极电压变化对靶材的刻蚀形貌没有影响。上述结论对直流磁控溅射工艺参数优化具有一定的理论指导意义。
- 黄英韩晶雪李建军常亮张以忱
- 关键词：直流磁控溅射磁场强度阴极电压
