龙志峰
- 作品数：8 被引量：31H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 硅微加速度计及其应用
- 加速度计是一种最有发展前景的微结构加速度计，在国外应用已很广泛，在国内尚属空白。该文介绍一种力平衡式硅微加速度计，它的作用原理是基于经典的牛顿力学定律，当传感器感受加速度时，检测质量反向移动，于是形成电容的变化，该信解调...
- 徐毓娴龙志峰李庆祥薛实福
- 关键词：微结构器件加速度计遥控遥测
- 微硅电子隧道加速度计的设计和工艺实验研究
- 论文综述了MEMS技术的发展概况,并对隧道加速度计进行了全面的总结.研究了电子隧道加速度计中的致动技术,采用静电致动作为电子隧道加速度计的致动方式.阐述了平板电极驱动和梳齿电极驱动的原理,对平板电极的失稳条件进行了分析....
- 龙志峰
- 关键词：MEMS加速度计体硅工艺
- 虚拟仪器在测试技术中的应用
- 介绍了虚拟仪器和美国国家仪器公司的 LabView开发平台，及其在现代测试技术中的应用。并使用虚拟仪器技术对汽国情平稳性数据进行了笔现、存储和分析。该曲型开发和应用实例表明虚拟仪器具有开发效率高、调整方便快捷、信号分析处...
- 龙志峰白立芬徐毓娴李庆祥
- 关键词：信号采集信号处理虚拟仪器
- 微硅隧道加速度变送器的优化设计被引量：6
- 2001年
- 本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。
- 龙志峰韩荔李庆祥白立芬
- 关键词：隧道加速度计变送器
- 电子隧道传感器的原理、现状与发展被引量：5
- 1998年
- 电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计，红外探测器，磁强计，触觉传感器，这些传感器小巧且性能优异。本文介绍了电子隧道原理，对电子隧道传感器的结构和性能进行了描述，并讨论了电子隧道传感器的发展前景。
- 龙志峰薛实福李庆祥
- 关键词：传感技术
- 电子隧道加速度计输出信号的分析与处理被引量：12
- 2002年
- 介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模拟信号的软件处理 ,抑制了噪声 ,消除了工频干扰 ,将被噪声淹没的有效成分提取出来 ,从而证明了该方法的有效性。
- 韩荔龙志峰李庆祥白立芬
- 关键词：信号处理虚拟仪器信号分析
- 微硅隧道加速度变送器的优化设计
- 本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续...
- 龙志峰韩荔李庆祥白立芬
- 关键词：隧道加速度计变送器
- 文献传递
- 微器件装配系统与关键技术被引量：10
- 1997年
- 微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
- 李云平龙志峰李庆祥王晓晔薛实福
- 关键词：微系统微装配MEMS
