包达群
- 作品数：6 被引量：3H指数：1
- 供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- PZT薄膜材料的生长与应用
- 随着铁电薄膜和微电子技术相结合而发展起来的集成铁电学的出现,铁电薄膜的制备、结构、性能及其应用已成为国际上新材料研究十分活跃领域,其中钙钛矿结构的锆钛酸铅Pb/(Zr/_x,Ti/_/(1-x/)/)O/_3/(PZT/...
- 包达群
- 关键词：锆钛酸铅溶胶凝胶谐振器
- 文献传递
- 薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析被引量：1
- 2008年
- 建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中。运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况。基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄膜体声波谐振器性能的提高。
- 张翊包达群郭航
- 关键词：薄膜体声波谐振器结构参数优化
- 采用Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜及其表征
- 本文介绍用Sol-gel技术制备的PZT薄膜的生长和表征。文中,我们通过分析极化强度来研究退火温度、不同的膜厚和不同衬底对PZT薄膜铁电特性的影响。PZT薄膜的电滞回线用Sawyer Tower回路来测量。实验数据表明P...
- 包达群张翊郭航郭涛
- 关键词：PZT薄膜铁电性
- 文献传递
- 锆钛酸铅(PZT)薄膜的生长与表征
- 锆钛酸铅(PZT)材料是一种具有高机电系数、高介电常数和高剩余极化强度。的功能材料，具有优异的介电、压电、铁电性能和光学特性。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS...
- 包达群张翊潘峰郭航
- 关键词：锆钛酸铅微结构
- 文献传递
- 微型体声波振荡器的噪声分析
- 压电振荡器已广泛应用于通信、导航、雷达、精密仪器仪表与测试设备中。在航天、航空等恶劣环境中,对压电振荡器的可靠性、相位噪声、体积等提出了更高的要求。随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,具有体积小、可靠性高、温度特性...
- 张翊孙宏明包达群郭航
- 文献传递
- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
