潘峰
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
- 锆钛酸铅(PZT)薄膜的生长与表征
- 锆钛酸铅(PZT)材料是一种具有高机电系数、高介电常数和高剩余极化强度。的功能材料，具有优异的介电、压电、铁电性能和光学特性。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS...
- 包达群张翊潘峰郭航
- 关键词：锆钛酸铅微结构
- 文献传递
