您的位置： 专家智库 > >

裴召辉

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 14篇晶圆
  • 12篇刷洗
  • 7篇毛刷
  • 5篇组件
  • 5篇机械手
  • 4篇基板
  • 4篇侧板
  • 3篇修整器
  • 3篇失衡
  • 3篇刷子
  • 3篇随动
  • 3篇扭矩
  • 3篇抛光
  • 3篇抛光液
  • 3篇装卸
  • 3篇装载装置
  • 3篇可旋转
  • 3篇干燥装置
  • 2篇旋转盘
  • 2篇丝杠

机构

  • 19篇清华大学

作者

  • 19篇路新春
  • 19篇何永勇
  • 19篇裴召辉
  • 13篇梅赫赓
  • 11篇雒建斌
  • 8篇许振杰
  • 8篇沈攀
  • 8篇王同庆
  • 5篇赵德文
  • 4篇张连清
  • 4篇郭振宇
  • 3篇徐海滨
  • 3篇黄雅婷
  • 3篇张莉瑶
  • 1篇张昕
  • 1篇孟永钢
  • 1篇刘宇宏
  • 1篇赵乾
  • 1篇李昆
  • 1篇田芳馨

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2013
  • 4篇2012
  • 6篇2011
共 19 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置。所述用于晶圆的刷洗装置包括：用于支撑晶圆的支撑件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面；和丝杠组件，所述丝杠组件与所述第一...
路新春裴召辉何永勇
文献传递
晶圆清洗支撑轮组件及晶圆竖直清洗装置
本实用新型提供一种晶圆清洗支撑轮组件晶圆竖直清洗装置，包括转轴、支撑轮、第一定位件、第二定位件和弹性件；支撑轮的外周面上设置有周向切槽，支撑轮设在转轴的一端以随转轴旋转且支撑轮沿转轴的轴向在预定区段内可移动；第一定位件安...
路新春裴召辉梅赫赓何永勇
文献传递
化学机械抛光机的抛光头支架
本实用新型公开一种化学机械抛光机的抛光头支架，包括：水平基板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹槽，所述凹槽在水平基板的纵向一端敞开且朝向水平纵向另一端延伸；和支撑侧板，所述支撑侧板分别与水平基板相连且分别位于所述...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
文献传递
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
文献传递
化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
本发明公开一种化学机械抛光机，包括：工作平台，抛光盘，修整器和抛光液输送装置，装卸平台，抛光头，机械手，和抛光头支架，所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
文献传递
用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法，所述用于晶圆的刷洗装置包括：机架；第一和第二毛刷，所述第一和第二毛刷相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面；和第一和第二清洗液供给单元，所述第一和第二清...
路新春梅赫赓裴召辉何永勇
文献传递
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，所述用于晶圆的刷洗装置包括：机架；支撑件，支撑件设在机架上以用于使晶圆可旋转地支撑于支撑件上；以及第一和第二毛刷组件，第一和第二毛刷组件相对地且间隔开地安装在机架上以分别用于刷洗晶圆的...
路新春裴召辉梅赫赓何永勇
化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第一机械手；化学机械抛光机；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第一容纳腔的第一本体、设在第一容纳腔内第一...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
文献传递
一种用于晶圆的刷洗装置
本实用新型公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
文献传递
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0