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苏德海
苏德海
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
电子工业部
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相关领域:
电子电信
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合作作者
范月珍
中国电子科技集团公司第四十七研...
王效平
电子工业部
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文献类型
2篇
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2篇
电子电信
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1篇
晶体管
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功率晶体管
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功率器件
1篇
半导体
1篇
半导体器件
1篇
SIMOX
1篇
SOI
1篇
VDMOS
1篇
MOS功率器...
机构
1篇
电子工业部
1篇
中国电子科技...
作者
2篇
苏德海
1篇
王效平
1篇
范月珍
传媒
2篇
微处理机
年份
1篇
1996
1篇
1991
共
2
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垂直MOS功率器件的结构设计
被引量:1
1991年
本文以理论分析为依据,对垂直导电型功率器件,即 VDMOS 晶体管的结构进行优化设计。特别对高压器件的元胞形状、尺寸、导通电阻、终端保护结构、工艺参数等进行了合理设计,并在工艺上验证了400~V-2~A 及600~V-5~A 两种器件的设计。对工艺流程中出现的问题亦进行了相应的分析解决,获得合格的样品及一套完整的
范月珍
苏德海
薜煌
高成国
关键词:
VDMOS
功率晶体管
SOI技术进入工业开发时代
被引量:1
1996年
本文叙述了SOI衬底材料的加工和检测技术,特别着重介绍了已取得惊人进展的SIMOX(separationbyimplantationofoxygen)和BESOI(BondingandetchbackSOI)技术。论述了SOI衬底在抗辐射电路、ULSI、高温器件、双极和BICMOS器件、微波器件、高电压及功率器件、智能传感器、光电子器件的应用。最后讨论了SOI衬底材料和器件在工业开发阶段存在的问题,并展望SOI技术的前景。
王效平
苏德海
关键词:
SOI
SIMOX
半导体器件
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