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张藏珍

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单片
  • 1篇汽相外延
  • 1篇微波单片
  • 1篇微波器件
  • 1篇晶体管
  • 1篇功率管
  • 1篇功率晶体管
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇严振斌
  • 1篇何梅芬
  • 1篇艾广勤
  • 1篇徐永强
  • 1篇张藏珍
  • 1篇吕云安

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于微波单片和功率管的GaAs VPE材料
吕云安严振斌徐永强张藏珍何梅芬艾广勤刘玉兰等
一、成果内容简介：采用常用规的Ga/AsCl<,3>/H<,2>氯化物气相外延的方法，在Si-GaAs单晶衬底上生长出适用于CaAsMMIC和功率MESFET的2in与3inn+/n/n-/Si-GaAs多层外延材料并具...
关键词：
关键词：半导体工艺微波器件功率晶体管汽相外延
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