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彭雪峰

作品数：9 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇光刻
  • 4篇数据采集
  • 4篇标定方法
  • 3篇光刻机
  • 3篇光学
  • 2篇多功能数据采...
  • 2篇多功能数据采...
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射光学
  • 2篇衍射光学元件
  • 2篇衍射图
  • 2篇衍射图样
  • 2篇衍射效率
  • 2篇试纸
  • 2篇试纸条
  • 2篇输入输出
  • 2篇数据采集卡
  • 2篇数据采集与控...
  • 2篇投影光刻
  • 2篇平行平板

机构

  • 9篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 9篇黄惠杰
  • 9篇彭雪峰
  • 7篇曾爱军
  • 7篇黄立华
  • 5篇任冰强
  • 5篇杨宝喜
  • 4篇陈贝特
  • 3篇鲍建飞
  • 2篇王俊
  • 2篇肖艳芬
  • 2篇郭凯
  • 2篇陈明
  • 2篇胡中华
  • 2篇朱菁
  • 2篇侯莉颖
  • 2篇陈军
  • 2篇凌丽青
  • 1篇胡小邦

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
位置敏感传感器的标定装置和标定方法
一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感...
黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰
文献传递
光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具...
黄立华王俊侯莉颖彭雪峰任冰强曾爱军黄惠杰
文献传递
金标条阅读仪及检测方法
一种金标条阅读仪及检测方法，该阅读仪由光学模块、控制模块、输入输出模块和金标试纸条框组成，所述的光学模块由LED模组、匀光板、成像镜头和图像传感器组成，所述的LED模组的多个LED以所述的成像镜头成中心对称分布，所述的匀...
黄立华陈贝特黄惠杰郭凯凌丽青陈军彭雪峰
文献传递
衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法
一种用于投影光刻照明系统的衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法，该测量装置包括照明单元、能量监测单元、衍射光学元件固定支架、衍射图样测量单元和能量利用率测量单元。通过测量衍射光学元件产生的衍射图样及各级衍射光斑的能量...
胡中华朱菁杨宝喜肖艳芬彭雪峰陈明曾爱军黄惠杰
文献传递
光刻机照明系统中光束稳定技术研究被引量：5
2012年
光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模块之间的光束传递矩阵,并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统。对系统性能进行了测试,通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果:系统的指向稳态误差低于±3μrad,位置稳态误差低于±0.04mm,系统调整时间小于80ms。结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置。
鲍建飞黄立华曾爱军任冰强杨宝喜彭雪峰胡小邦黄惠杰
关键词：光学设计光刻技术闭环控制
位置敏感传感器的标定装置和标定方法
一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感...
黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰
光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具...
黄立华王俊侯莉颖彭雪峰任冰强曾爱军黄惠杰
文献传递
衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法
一种用于投影光刻照明系统的衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法，该测量装置包括照明单元、能量监测单元、衍射光学元件固定支架、衍射图样测量单元和能量利用率测量单元。通过测量衍射光学元件产生的衍射图样及各级衍射光斑的能量...
胡中华朱菁杨宝喜肖艳芬彭雪峰陈明曾爱军黄惠杰
金标条阅读仪及检测方法
一种金标条阅读仪及检测方法，该阅读仪由光学模块、控制模块、输入输出模块和金标试纸条框组成，所述的光学模块由LED模组、匀光板、成像镜头和图像传感器组成，所述的LED模组的多个LED以所述的成像镜头成中心对称分布，所述的匀...
黄立华陈贝特黄惠杰郭凯凌丽青陈军彭雪峰
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