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韩锴

作品数：46 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信交通运输工程一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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