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田风军

作品数：1 被引量：11H指数：1
供职机构：黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

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黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室
研究主题：MEMS 左手材料 射频磁控溅射 氧传感器 硅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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