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刘海晓

作品数：4 被引量：18H指数：4
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学
研究主题：性能研究 数值模拟 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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