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谌雅琴

作品数：5 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项北京市自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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