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张波
作品数:
45
被引量:13
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院研究生院
俞文杰
中国科学院上海微系统与信息技术...
薛忠营
中国科学院研究生院
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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俞文杰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:沟道 图形化 硅 衬底 晶体管
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薛忠营
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
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赵清太
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:沟道 生物传感器 衬底材料 SUB 金属硅化物
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魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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武爱民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅基 硅 波导 光子晶体 锗
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侯春雷
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SIGE材料 快速退火 NITI合金 合金层 晶体管器件
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陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 阈值电压 SOI 存储器单元
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