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李艳丽

作品数：36 被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 20个机械工程
  • 20个电子电信
  • 19个自动化与计算...
  • 17个理学
  • 14个一般工业技术
  • 10个文化科学
  • 8个生物学
  • 7个电气工程
  • 7个轻工技术与工...
  • 6个经济管理
  • 6个医药卫生
  • 4个金属学及工艺
  • 3个动力工程及工...
  • 2个核科学技术
  • 2个农业科学
  • 2个自然科学总论

主题

  • 21个光刻
  • 20个掩模
  • 19个工件台
  • 18个投影光刻
  • 17个图像
  • 17个无掩模
  • 16个衍射
  • 15个照明
  • 14个对准标记
  • 13个调焦
  • 13个掩模板
  • 12个叠栅条纹
  • 11个调制
  • 10个等离子体
  • 10个电机
  • 9个电子束曝光
  • 9个电子束曝光机
  • 8个电机轴
  • 7个电路
  • 6个低阶

机构

  • 21个中国科学院
  • 6个中国科学院研...
  • 3个中国科学院大...
  • 1个电子科技大学
  • 1个四川大学
  • 1个华南理工大学

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 12个国家高技术研...
  • 4个四川省科技支...
  • 4个四川省杰出青...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个国家科技重大...
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  • 3个中国科学院知...
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  • 1个重庆市科技计...

传媒

  • 15个光学学报
  • 15个光电工程
  • 15个微纳电子技术
  • 11个中国激光
  • 11个电子工业专用...
  • 10个微细加工技术
  • 7个激光与光电子...
  • 7个四川大学学报...
  • 5个红外与激光工...
  • 5个光子学报
  • 4个中国仪器仪表
  • 4个计测技术
  • 4个现代电子技术
  • 4个第十二届全国...
  • 4个第十一届全国...
  • 3个现代科学仪器
  • 3个半导体技术
  • 3个电子技术应用
  • 3个国外电子测量...
  • 3个电子设计工程

地区

  • 20个四川省
  • 1个广东省
共 21 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯金花
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：工件台 叠栅条纹 掩模 光刻机 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 工件台 衍射 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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