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沈攀

作品数：63 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺电子电信交通运输工程更多>>

合作作者

领域

  • 21个电子电信
  • 18个自动化与计算...
  • 14个金属学及工艺
  • 14个文化科学
  • 13个机械工程
  • 12个一般工业技术
  • 12个理学
  • 11个化学工程
  • 10个电气工程
  • 10个轻工技术与工...
  • 10个交通运输工程
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  • 7个医药卫生
  • 7个自然科学总论
  • 6个经济管理
  • 4个天文地球
  • 4个石油与天然气...
  • 3个农业科学

主题

  • 20个晶圆
  • 20个化学机械抛光
  • 20个机械抛光
  • 19个抛光
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  • 15个组件
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机构

  • 26个清华大学
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资助

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传媒

  • 10个机械工程学报
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  • 3个哈尔滨工业大...
  • 3个机械强度

地区

  • 25个北京市
  • 1个陕西省
共 26 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅赫赓
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张连清
供职机构：清华大学
研究主题：侧板 基板 修整器 机械手 装卸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐海滨
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 机械手 组件 装载装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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