您的位置： 专家智库 > >

郭晓芸

作品数：7 被引量：36H指数：5
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心更多>>
发文基金：上海市教育发展基金会“曙光计划”项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术经济管理更多>>

合作作者

领域

  • 15个电子电信
  • 14个自动化与计算...
  • 13个电气工程
  • 13个一般工业技术
  • 12个化学工程
  • 12个理学
  • 11个机械工程
  • 9个金属学及工艺
  • 4个动力工程及工...
  • 4个交通运输工程
  • 4个医药卫生
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 3个生物学
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个农业科学
  • 2个建筑科学
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术

主题

  • 13个微机电系统
  • 13个离子刻蚀
  • 13个刻蚀
  • 13个机电系统
  • 13个反应离子
  • 13个反应离子刻蚀
  • 13个电系统
  • 11个电机
  • 11个LIGA技术
  • 10个电磁
  • 10个电磁型
  • 10个微马达
  • 9个电磁型微马达
  • 9个电铸
  • 9个定子
  • 9个转子
  • 8个电路
  • 8个深层刻蚀
  • 8个微电铸
  • 7个电感

机构

  • 16个上海交通大学
  • 3个教育部
  • 2个交通大学
  • 1个北京大学
  • 1个名古屋大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个清华大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学院

资助

  • 10个国家高技术研...
  • 10个国家自然科学...
  • 6个上海市科委纳...
  • 6个上海市教育发...
  • 5个国家重点基础...
  • 5个国家重点实验...
  • 4个国防科技重点...
  • 4个上海市科学技...
  • 4个中国博士后科...
  • 3个国防科技技术...
  • 3个陕西省科技攻...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个教育部科学技...
  • 3个教育部“新世...
  • 3个上海-AM基...
  • 3个上海市科委重...
  • 3个上海市科学技...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个吉林省自然科...
  • 2个上海市自然科...

传媒

  • 15个微细加工技术
  • 13个第四届全国微...
  • 9个第五届全国微...
  • 8个上海交通大学...
  • 8个功能材料
  • 7个磁性材料及器...
  • 6个微纳电子技术
  • 5个电子工艺技术
  • 5个中国机械工程
  • 5个光学学报
  • 5个真空科学与技...
  • 5个压电与声光
  • 4个光学精密工程
  • 4个Journa...
  • 4个新技术新工艺
  • 4个强激光与粒子...
  • 3个现代科学仪器
  • 3个电子测量技术
  • 3个金属学报
  • 3个仪器仪表学报

地区

  • 15个上海市
  • 1个北京市
共 16 条 记 录，以下是 1-10
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵小林
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
章吉良
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：偏置 LIGA技术 磁头 电磁型微马达 溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昌敏
供职机构：上海交通大学
研究主题：微结构 DEM技术 PMMA 高深宽比 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈天慧
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 SIO 抗腐蚀性能 电镀 CVD金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞爱斌
供职机构：上海交通大学
研究主题：微泵 形状记忆合金 反应离子刻蚀 微驱动器 微马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛海平
供职机构：上海交通大学
研究主题：微电感 电感量 微结构 反应离子刻蚀 磁芯材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王志民
供职机构：上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题：MEMS 微电铸 电铸 MEMS微结构 电沉积层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0