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裴召辉

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学轻工技术与工程更多>>

合作作者

领域

  • 17个电子电信
  • 15个自动化与计算...
  • 12个金属学及工艺
  • 12个文化科学
  • 10个理学
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  • 8个建筑科学
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  • 8个一般工业技术
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  • 5个动力工程及工...
  • 5个医药卫生
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  • 3个天文地球
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个自然科学总论
  • 2个冶金工程

主题

  • 17个晶圆
  • 16个抛光
  • 15个化学机械抛光
  • 13个抛光液
  • 13个组件
  • 11个刷洗
  • 11个装卸
  • 11个基板
  • 9个修整器
  • 8个电涡流
  • 8个旋转接头
  • 7个电路
  • 7个电涡流传感器
  • 7个抛光工艺
  • 6个导轨
  • 5个弹性环
  • 5个登录
  • 5个电机
  • 4个氮化
  • 4个挡板

机构

  • 19个清华大学
  • 2个吉林大学
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  • 1个东北大学
  • 1个复旦大学
  • 1个东北工学院
  • 1个东南大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个东北师范大学
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  • 1个辽宁大学
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  • 1个上海交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个辽宁石油化工...
  • 1个沈阳工业大学
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...

资助

  • 11个国家自然科学...
  • 8个中国博士后科...
  • 8个国家重点实验...
  • 7个国家重点基础...
  • 5个国家杰出青年...
  • 5个国家科技重大...
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  • 3个教育部跨世纪...
  • 3个教育部“新世...
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  • 2个北京市自然科...
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传媒

  • 7个摩擦学学报（...
  • 6个科学通报
  • 6个机械工程学报
  • 6个中国基础科学
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  • 3个仪器仪表学报
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  • 3个功能材料
  • 2个光学精密工程
  • 2个农业工程学报
  • 2个力学与实践
  • 2个锻压技术
  • 2个Chines...
  • 2个科技导报

地区

  • 19个北京市
共 19 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅赫赓
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭振宇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 组件 装载装置 刷洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张连清
供职机构：清华大学
研究主题：侧板 基板 修整器 机械手 装卸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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